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  • 晶圓表面形貌及臺階高度測量方法

    2023-11-02 晶圓在加工過程中的形貌及關鍵尺寸對器件的性能有著重要的影響,而形貌和關鍵尺寸測量如表面粗糙度、臺階高度、應力及線寬測量等就成為加工前后步驟。以下總結(jié)了從宏觀到微觀的不同表面測量方法:單種測量手段往往都有著自身的局限性,實際是往往是多種測量方法配合使用。此外,除表面形貌和臺階測量外,在晶圓制程中需要進行其他測量如缺陷量測、電性量測和線寬量測。通過多種測量方式的配合,才能保證器件的良率和性能。半導體晶圓表面形貌的測量可以直接反映晶圓的質(zhì)量和性能。通過對晶圓表面形貌的測量,可以及時...
  • 臺階儀工業(yè)測量儀器:揭秘多領域應用

    2023-11-02 臺階儀能檢測哪些東西?主要應用在哪些領域?臺階儀是一種常見的工業(yè)測量儀器,廣泛應用于大學、研究實驗室和研究所、半導體和化合物半導體、高亮度LED、太陽能、MEMS微機電、觸摸屏、汽車、醫(yī)療設備等行業(yè)領域。它能完成對微米和納米結(jié)構進行膜厚和薄膜高度、表面形貌、表面波紋和表面粗糙度等的測量。工作原理當觸針沿被測表面輕輕滑過時,由于表面有微小的峰谷使觸針在滑行的同時還沿峰谷作上下運動。觸針的運動情況就反映了表面輪廓的情況。CP200臺階儀采用線性可變差動電容傳感器(LVDC),具有...
  • 篩網(wǎng)孔徑測量方法,您了解多少?

    2023-11-01 篩網(wǎng)是一種表面有均勻而穩(wěn)定的透氣孔、具有篩選和過濾作用的工業(yè)用品,常見的有金屬絲編織網(wǎng)和沖孔板篩網(wǎng),廣泛用于新能源汽車、太陽能光伏、冶金、煤炭、橡膠、石油、化工、制藥、建材、糧油等行業(yè)。篩網(wǎng)有著嚴格的網(wǎng)孔尺寸規(guī)范,需要符合標準認可,篩網(wǎng)的線徑、網(wǎng)孔(尺寸規(guī)范)是否符合要求,需要專業(yè)的尺寸測量工具來檢測。一、目視測量法目視測量法是篩網(wǎng)孔徑大小測量中常用的方法之一,簡單易行,適用于孔徑較大的篩網(wǎng)。其具體操作流程如下:(1)選取與篩網(wǎng)孔徑大小相同的標準物品,如釘子、銅絲等,稱為量規(guī)...
  • 雙頻激光干涉儀其擁有怎樣的功能呢?

    2023-10-27 雙頻激光干涉儀是一種常用的實驗室儀器,可以用于測量長度、形狀、表面粗糙度等物理量。它基于干涉原理,利用激光源發(fā)出兩個頻率不同的激光束,通過干涉產(chǎn)生干涉條紋來進行測量。在激光干涉儀中,激光源會發(fā)出兩個頻率不同的激光束,其中一個激光束為參考光,另一個激光束則被用來測量待測物體的位移或形變。這兩束激光束會經(jīng)過分束器和反射鏡,最終在檢測器上產(chǎn)生干涉信號。雙頻激光干涉儀是在單頻激光干涉儀的基礎上發(fā)展的一種外差式干涉儀。和單頻激光干涉儀一樣,激光干涉儀也是一種以波長作為標準對被測長度進行...
  • WD4000無圖晶圓檢測機:助力半導體行業(yè)高效生產(chǎn)的利器

    2023-10-26 晶圓檢測機,又稱為半導體芯片自動化檢測設備,是用于對半導體芯片的質(zhì)量進行檢驗和測試的專用設備。它可以用于硅片、硅晶圓、LED芯片等半導體材料的表面檢測,通過對晶圓的表面特征進行全面檢測,可以有效降低產(chǎn)品的不良率,提高產(chǎn)品的穩(wěn)定性和可靠性。一種晶圓表面形貌測量方法-WD4000無圖晶圓幾何量測系統(tǒng)WD4000無圖晶圓檢測機采用高精度光譜共焦傳感技術、光干涉雙向掃描技術,完成非接觸式掃描并建立3DMapping圖,實現(xiàn)晶圓厚度、TTV、LTV、Bow、Warp、TIR、SORI、...
  • 臺階儀和輪廓儀在工業(yè)制造領域的區(qū)別和應用領域解析

    2023-10-26 測量和檢測是工業(yè)制造領域的重要環(huán)節(jié),而臺階儀和輪廓儀則是各有其特點和應用范圍的兩種儀器。臺階儀和輪廓儀區(qū)別在哪?一、臺階儀1、產(chǎn)品概述臺階儀是一種接觸式表面形貌測量儀器。它是利用光學干涉原理,對微米和納米結(jié)構進行膜厚和薄膜高度、表面形貌、表面波紋和表面粗糙度等的測量。2、產(chǎn)品特點臺階儀在工業(yè)生產(chǎn)中,常用來保證產(chǎn)品的質(zhì)量和工藝要求的達標。它對測量工件的表面反光特性、材料種類、材料硬度都沒有特別要求,樣品適應面廣,數(shù)據(jù)復現(xiàn)性高、測量穩(wěn)定、便捷、高效,是微觀表面測量中使用非常廣泛的...
  • 以下便是雙頻激光干涉儀的主要結(jié)構組成部分

    2023-10-25 雙頻激光干涉儀是一種常用的實驗室儀器,可以用于測量長度、形狀、表面粗糙度等物理量。它基于干涉原理,利用激光源發(fā)出兩個頻率不同的激光束,通過干涉產(chǎn)生干涉條紋來進行測量。在激光干涉儀中,激光源會發(fā)出兩個頻率不同的激光束,其中一個激光束為參考光,另一個激光束則被用來測量待測物體的位移或形變。這兩束激光束會經(jīng)過分束器和反射鏡,最終在檢測器上產(chǎn)生干涉信號。雙頻激光干涉儀是在單頻激光干涉儀的基礎上發(fā)展的一種外差式干涉儀。和單頻激光干涉儀一樣,激光干涉儀也是一種以波長作為標準對被測長度進行...
  • 二次元影像測量儀的精度如何?

    2023-10-23 二次元影像測量儀是一種高精度的測量設備,廣泛應用于各種行業(yè),如機械、電子、模具、注塑、五金等。它的精度通??梢赃_到微米級別,靜態(tài)測量精度可達1μm,動態(tài)測量精度根據(jù)被測工件長度(3+L/200)μm計算。二次元影像測量儀的精度主要取決于其光學系統(tǒng)和機械系統(tǒng)的性能,以及計算機圖像處理算法的準確性。其光學系統(tǒng)通常采用高精度的光學鏡頭和照明系統(tǒng),可以清晰地捕捉到被測物體的細節(jié)和形狀。其機械系統(tǒng)采用高精度的運動控制系統(tǒng)和測量裝置,可以實現(xiàn)對被測物體的精確移動和定位。計算機圖像處理算法...
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